# FMTM-s5
百万电子束光刻机

+ 结构类似 `FMTM-s4`

+ 500 万根电子束同时扫描

+ 每只区域电子枪 1 万根电子束 (100x100),
  共 500 只区域电子枪

+ 单台速度约为 EUV 光刻机的 1/1000, 但价格同样感人


TODO
